電子級稀有氣體與鹵素氣體要求雜質含量低于 ppb 級，上海彌正建立千級潔凈純化車間，采用 “高溫脫氧 + 低溫吸附 + 激光精餾” 技術，實現痕量雜質的深度去除。針對電子級氬氣，通過鈀催化劑高溫脫氧與 10K 低溫吸附，使氧雜質≤0.01ppb，水分≤0.1ppb；針對電子級氟氣，采用激光精餾技術分離同位素雜質，純度達 99.9995%。產品符合 SEMI C12 標準，某晶圓廠應用后，芯片缺陷密度降低 60%。

針對大規模用氣客戶，上海彌正推出稀有氣體現場制氣服務，在客戶廠區搭建模塊化提純裝置，直接從空氣或工業副產品中提取高純氣體。例如為光伏企業搭建現場氬氣提純裝置，原料為工業粗氬，提純后純度達 99.999%，供應成本降低 35%；為半導體企業提供現場氦氣回收提純系統，回收率達 90%，年減少氦氣消耗 40%。該模式減少運輸環節，純度穩定性提升至 99.9%，某大型電子企業應用后，生產停機時間減少 80%。 氦氣用于聲學測試，作為傳聲介質可減少干擾，提升測試精度。浙江氪氣惰性氣體稀有氣體/鹵素氣體生物醫藥

氬氣是大氣中含量比較高的稀有氣體（約 0.934%），呈無色無味單原子狀態，化學性質穩定，幾乎不與任何物質發生反應。其重心價值在于作為保護氣，廣泛應用于金屬焊接、冶煉及電子制造：在電弧焊接中，氬氣可隔絕空氣防止金屬氧化，使焊縫致密無飛濺，焊接接頭強度提升 20% 以上；在特種金屬冶煉中，鈦、鋯等活性金屬的提純需氬氣保護，避免氧化損耗；在電子行業，氬氣等離子體可用于芯片刻蝕與濺射鍍膜。上海彌正采用低溫精餾與精密吸附工藝，生產的工業級氬氣純度≥99.99%，電子級純度達 99.9999%，某汽車零部件企業使用其氬弧焊保護氣后，焊接廢品率從 3.5% 降至 0.8%，生產效率明顯提升。北京二氯甲烷稀有氣體/鹵素氣體芯片制造氡氣是天然放射性氣體，需做好室內通風防護，避免長期接觸危害健康。

半導體先進制程對氣體純度與性能的要求，稀有氣體憑借獨特的物理特性成為重心材料。氬氣作為刻蝕與濺射的關鍵氣體，其等離子體可實現的薄膜沉積，上海彌正電子級氬氣雜質含量≤0.1ppb，助力 14nm 制程芯片濺射鍍膜均勻性提升 30%；氦氣因導熱性強、化學惰性，用于晶圓冷卻與載氣，其 99.9999% 純度產品可使氣相色譜分析誤差≤0.3%；氙氣更是 EUV 光刻的重心，其等離子體產生的 13.5nm 光實現 5nm 以下制程突破。上海彌正建立半導體氣體專項產線，所有產品均符合 SEMI C12 標準，某頭部晶圓廠應用后，芯片良率從 82% 提升至 95%，刻蝕缺陷密度降低 60%。

鹵素氣體可通過化學反應改變材料表面特性，實現防腐、耐磨等功能提升。在金屬表面處理中，氟氣可制備氟化物涂層，提升金屬耐腐蝕性，某海洋工程企業應用后，設備海水腐蝕速率降低 80%；在聚合物改性中，氯氣等離子體可增加材料表面粗糙度，提高粘接強度，某包裝企業使用后，薄膜復合強度提升 30%；在玻璃加工中，氟化氫氣體可用于玻璃蝕刻，制作精細圖案。上海彌正可根據材料特性定制鹵素處理方案，某電子企業采用其氟等離子體處理技術后，芯片封裝粘接良率達 99.8%。氙氣在高壓下產生強紫外線，用于光刻技術，支撐半導體芯片制造。

半導體制造中，刻蝕工藝依賴鹵素氣體的強腐蝕性實現硅片圖形化，不同鹵素氣體適配不同刻蝕需求。氟基混合氣（如四氟化碳 - 氬氣）可實現硅的各向同性刻蝕，用于淺槽隔離結構加工；氯基混合氣（如氯氣 - 氦氣）適用于金屬布線刻蝕，刻蝕速率可達 500nm/min；溴化氫混合氣則在化合物半導體刻蝕中展現優勢，能準確控制刻蝕深度。上海彌正的電子級鹵素刻蝕氣純度≥99.999%，金屬雜質≤0.01ppb，某晶圓廠使用其氟基混合氣后，刻蝕圖形線寬偏差從 ±0.1μm 縮小至 ±0.03μm，良率提升 12%。氦氣密度極低且化學性質穩定，常用作氣球填充氣、超導磁體冷卻劑與焊接保護氣。廣東稀有氣體/鹵素氣體核磁共振成像

氖氣用于航空導航燈，穿透力強，可在惡劣天氣中為飛行器提供指引。浙江氪氣惰性氣體稀有氣體/鹵素氣體生物醫藥

氯氣作為應用較較廣的鹵素氣體之一，憑借強氧化性與反應活性，在消毒殺菌與化工原料合成領域發揮重心作用，其應用覆蓋民生、工業等多個場景。在消毒領域，氯氣溶于水生成次氯酸，次氯酸具有強氧化性，可破壞細菌、病毒的細胞膜與核酸，實現殺菌消毒。自來水廠通常采用氯氣消毒，添加量為 0.5-1.0mg/L，可將水中細菌總數降至 100CFU/mL 以下，符合飲用水衛生標準；在公共場所（如醫院、學校、地鐵），氯氣制備的 84 消毒液（次氯酸鈉溶液）是常用的表面消毒劑，對、大腸桿菌的殺滅率≥99%。在化工領域，氯氣是基礎原料，用于合成鹽酸（與氫氣反應）、聚氯乙烯（PVC）、漂白劑（如次氯酸鈣）等產品。鹽酸是重要的化工試劑與工業原料，用于金屬酸洗、醫藥合成與食品加工；PVC 是產量比較大的通用塑料之一，較廣用于建筑管材、包裝材料與醫療器械，某化工企業年產 100 萬噸 PVC，需消耗氯氣約 80 萬噸。此外，氯氣用于紡織工業漂白，可去除棉麻織物的天然色素，提升面料白度，適配服裝、家紡產品生產；在工業廢水處理中，氯氣可氧化降解廢水中的有機物與重金屬離子，降低廢水 COD 與重金屬含量，某印染廠使用氯氣處理廢水后，COD 去除率達 75%，重金屬離子達標排放。浙江氪氣惰性氣體稀有氣體/鹵素氣體生物醫藥

上海彌正氣體有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在上海市等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，上海彌正氣體供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！